潔凈棚是在潔凈室內(nèi)用防靜電網(wǎng)格簾或有機(jī)玻璃圍一個(gè)小空間，上方選用HEPA及FFU送風(fēng)單元組成一相對潔凈室較高凈化等級的空間，無塵潔凈棚可配風(fēng)淋室、傳遞窗等凈化設(shè)備。

一般潔凈棚的操作臺或出產(chǎn)設(shè)備等表面的一些氣流分流點(diǎn)，應(yīng)該設(shè)在潔凈室空間與隔墻板距離三分之二的當(dāng)?shù)?，這樣就可以使得作業(yè)人員在作業(yè)時(shí)，氣流可以從制程區(qū)的內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，然后簡略的將纖細(xì)的塵土帶走;假定分流點(diǎn)散布在制程區(qū)的前面方，那么就可能成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?，這個(gè)時(shí)分大部分的氣流將流至制程區(qū)的后邊，作業(yè)人員因?yàn)樵诓僮鞯倪M(jìn)程傍邊引起的一些塵土就會被帶到設(shè)備的后邊，工作臺就會因而遭到污染，良品率也會相對的下降。



在潔凈棚的實(shí)踐運(yùn)用中，潔凈度往往會遭到氣流的影響，而氣流又受其他要素影響，這就可以說潔凈度受這些要素直接影響。潔凈棚結(jié)構(gòu)一般可分為不銹鋼方通、烤漆鐵方通以及工業(yè)鋁型材，頂部及可用不銹鋼鋼板、烤漆冷塑鋼板、防靜電網(wǎng)格簾及壓克力有機(jī)玻璃等資料。