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無塵潔凈凈化車間技術(shù)和設(shè)備發(fā)展趨勢良好
無塵潔凈凈化車間通常包括:空氣凈化技能、凈化工程技能、空調(diào)技能、水凈化技能、氣體凈化技能、微量雜質(zhì)操控技能、潔凈環(huán)境的監(jiān)測技能及相關(guān)的環(huán)境質(zhì)量的操控技能。潔凈技能在電子、核子、航空航天、生物工程、制藥、精密機(jī)械、化工、食物、汽車制造等高科技工業(yè)范疇及現(xiàn)代科學(xué)范疇中得到廣泛應(yīng)用。
大規(guī)劃集成電路制造配備的投資潔凈室占有適當(dāng)高的比例,這與集成電路工藝不斷更新,產(chǎn)品更新?lián)Q代周期越來越快的開展趨勢不相適應(yīng),嚴(yán)峻制約了大規(guī)劃集成電路技能的開展。在潔凈室建造規(guī)劃和技能水平上,我國與先進(jìn)國家差距更大。日本某公司一家1982年到1987年期間承建的潔凈室面積達(dá)71.8萬平方米,而我國現(xiàn)在一年承建的潔凈室總面積還不到10萬平方米,但八五期間有較大開展,1993年承建潔凈室總面積已挨近15萬平方米。美國的潔凈室建造規(guī)劃更大,1998年統(tǒng)計已達(dá)188.5萬平方米。在潔凈工程技能水平上,80年代末期,國外已很多建成0.1微米級的超凈室,我國使用的0.1微米十級潔凈室主要依賴從國外進(jìn)口,高潔凈等級的潔凈室造價非常昂貴,0.1微米十級潔凈室每平方米造價高達(dá)1萬美元以上。
潔凈技能和配備的國際市場非常巨大,美國和西歐等先進(jìn)國家潔凈設(shè)備和根底部件的銷售額已達(dá)73億美元。隨著我國高新技能的迅速開展和微電子工業(yè)、光纖工業(yè)、液晶顯示工業(yè)及光電器材工業(yè)、生物工程、醫(yī)藥工業(yè)的開展,我國潛在的巨大的潔凈技能產(chǎn)品市場,以每年40%~50%的增長速度在增加。